様々なニーズに合わせた専用機をOEM提供しています。
THKインテックスがOEM提供している機器類は、ナノテクノロジーを活用した超精密位置決め機器類から、大型の精密ステージ・テーブル類まで用途に応じて多彩です。
ユニット実績例
■XYユニット（石定盤タイプ）
石定盤を使った検査装置で、リニアを採用することによって高精度を実現しています。
- 外観寸法：
1000mm[W]x1000mm[L]x450mm[H]
- 動作ストローク：
X軸:900mm Y軸:750mm
- 分解能：
0,001mm
- 最高速度：
500mm/s
■XZユニット
X軸の真直度と、Z軸の繰り返し精度を高めたユニットで、Z軸はコアレスリニアモーターを使用した楔式機構によりコンパクトになっています。
又、クリーンルームに使用されるために全体がカバーされているのが特徴です。
- テーブル寸法：
250mmx260mm
- 有効ストローク：
X軸:300mm Z軸:10mm
- 最高速度：
X軸:250mm/sec Z軸:18mm/sec
■XYθユニット（石定盤タイプ）
55mmストローク移動後、2μm以下に振幅が収まるまでのスタートからの時間が0.5s以内
- 外観寸法：
1500mm[W]x1200mm[L]x850mm[H]
- 動作ストローク：
X軸:55mm Y軸:55mm
- 分解能：
0,001mm
- 最高速度：
150mm/s
■一軸ステージ
1軸ステージにアライメント機構を載せたステージで、アライメント部にはTHK製品のクロスローラーリングを採用しています。
- 外観寸法：
2800mm[W]x980mm[L]x250mm[H]
- 動作ストローク：
2500mm
- 分解能：
0,001mm
- 最高速度：
500mm/s
■一軸ステージ（除震台仕様）
除震台付きの1軸ステージです。
- 外観寸法：
2200mm[W]x1900mm[L]x950mm[H]
- 動作ストローク：
1500mm
- 分解能：
0,001mm
- 最高速度：
300mm/s
■一軸ステージ（LMガイド仕様）
本装置はリニアを使用した、高精度1軸ステージです。
- 外観寸法：
2800mm[W]x980mm[L]x250mm[H]
- 精度保証ストローク：
300mm
- 動作ストローク：
320mm（ストッパーstを除く）
- 分解能：
0,001mm
- 最高速度：
200mm/s
- 搭載荷重：
1kg
- 本体質量：
80kg
■6軸パラレルリンクステージ
本装置は、6本の電動シリンダをパラレルに上下ベースの間に設置し、トップテーブル平面が自由に運動できるよう構成されたユニットです。
トップテーブル上に自動車やヘリコプター等の輸送機器を設置し、モニターの映像に合わせ揺動するシミュレーターや、擬似的に地震波等の運動、振動を作り出す試験用装置として使用されます。
- 外観寸法：
2424mm[W]x2800mm[L]x1486mm[H](max)
- テーブル寸法：
2424mm×2424mm
- 搭載質量：
2000kg
- 総重量：
約1200kg
電動シリンダ単体
- 外観寸法：
220mm[W]x220mm[L]x1706mm[H](max)
- ストローク：
278mm
- 質量：
約120kg